Микроэлектроника

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА - CAMFIL FARR

Воздушные фильтры Camfil Farr

Процесс производства полупроводников и микроэлектроники требует максимально чистого воздуха. Критический размер частиц в воздухе при производстве полупроводниковых пластин менее 25 нм (2009г.) и согласно прогнозам уменьшится до 10нм к 2017 году.
Всего несколько неотфильтрованных молекул газа или частиц, могут негативно повлиять на многие процессы.

Основной проблемой на предприятиях по производству микроэлектроники являются молекулярные загрязнения, полученные в результате вторичных реакций. Многочисленные загрязнители могут повлиять на качество выпускаемой продукции.
Кислотная коррозия жестких дисков или полупроводниковых пластин, конденсация органических веществ на чувствительных поверхностях или воздействие аммиака в низких концентрациях может привести к разрушению микроэлектроники.

Camfil Farr  имеет огромный опыт в очистке воздуха в области производства и исследования полупроводников и микроэлектроники. Многие ведущие производители высокотехнологической электроники и микроэлектроники используют разработанные и инсталлированные системы очистки и вентиляции воздуха и сменные воздушные фильтры Camfil Farr на своих производствах.

Camfil Farr предлагает лучшие системные решения по контролю за загрязнением воздуха, как частицами, так и молекулами газов. Все разработки системы для очистки и вентиляции воздуха для чистой комнаты производятся с учетом классификации этой чистой комнаты, выбором фильтров и влиянием фильтров на окружающую среду.